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    中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准

    更新时间:2015-09-15      点击次数:2940

    中国国家电子级超纯水GB/TII446.11997标准



     指标\级别

     EW

     EW

    EW 

    EW-

     电阻率 MΩ,cm(25)

    18以上,(95%时间)不低于17

    15,(95%时间)不低于13

     12.0   

    0.5   

     全硅,zui大值,μg/L

    2

    10

    50

    1000

     1μm微粒数,zui大值,个/mL

    0.1

    5

    10

    500

     细菌个数,zui大值,个/mL

    0.01

    0.1

    10

    100

     铜,zui大值,μg/L

    0.2

    1

    2

    500

     锌,zui大值,μg/L

    0.2

    1

    5

    500

     镍,zui大值,μg/L

    0.1

    1

    2

    500

     钠,zui大值,μg/L

    0.5

    2

    5

    1000

     钾,zui大值,μg/L

    0.5

    2

    5

    500

     氯,zui大值,μg/L

    1

    1

    10

    1000

     硝酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     磷酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     硫酸根,zui大值,μg/L

    1

    1

    5

    500

     总有机酸,zui大值,μg/L

    20

    100

    200

    1000


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